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螺桿真空泵的工作原理

螺桿真空泵的工作原理

  • 分類:行業動態
  • 作者:
  • 來源:
  • 發布時間:2021-05-29
  • 訪問量:0

【概要描述】螺桿真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種,由于具有抽速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放,以及運行成本低等一系列優點,在半導體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域得到了廣泛應用。
目前,各種真空泵的發展越來越受到真空應用場合的影響,一般傳統的真空泵系統已經無法滿足清潔無油、耐腐蝕、抽可凝性蒸汽,以及能在惡劣工況下運行的需要,因此,近幾年來,干式真空

螺桿真空泵的工作原理

【概要描述】螺桿真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種,由于具有抽速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放,以及運行成本低等一系列優點,在半導體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域得到了廣泛應用。
目前,各種真空泵的發展越來越受到真空應用場合的影響,一般傳統的真空泵系統已經無法滿足清潔無油、耐腐蝕、抽可凝性蒸汽,以及能在惡劣工況下運行的需要,因此,近幾年來,干式真空

  • 分類:行業動態
  • 作者:
  • 來源:
  • 發布時間:2021-05-29
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螺桿真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種,由于具有抽速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放,以及運行成本低等一系列優點,在半導體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域得到了廣泛應用。

目前,各種真空泵的發展越來越受到真空應用場合的影響,一般傳統的真空泵系統已經無法滿足清潔無油、耐腐蝕、抽可凝性蒸汽,以及能在惡劣工況下運行的需要,因此,近幾年來,干式真空泵發展很快,真空獲得產品出現了更新換代的局面。

螺桿真空泵的工作原理:由一對同步齒輪帶動逆向旋轉的螺桿,在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間,有一定的間隙,沒有任何金屬與金屬之間的接觸。于是,螺桿在旋轉過程中就將被抽氣體從進氣口吸入,并排出到排氣口。

早期的螺桿真空泵是等螺距,為了降低能耗、降低泵腔內的溫度,后來又開發了變螺距的螺桿真空泵。其中一種螺桿是由二段螺距大小不等的螺桿拼接而成,另一種就是螺距連續變化的螺桿真空泵,螺桿由一個整體材料加工制作而成。

干式螺桿真空泵的特點如下:

1.由于采用變螺距結構,比等螺距螺桿可節省30%的能耗,排氣溫度較低;

2.被抽氣體在泵腔內路程短,并迅速排出;

3.被抽氣體在泵腔內很少受到攪動;

4.微小顆粒不容易堆積;

5.可以夾帶液體、可凝物和微小顆粒;

6.低振動和低噪聲;

7.泵腔內的剩余物容易被清除。


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